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新型耐蚀铜合金溅射靶材的电化学行为研究-辽宁化工2025年01期

新型耐蚀铜合金溅射靶材的电化学行为研究

作者:张越 陶海日 王祥合 柳博远 葛晓静 柳泉 陶绍虎 字体:      

摘      要:随着磁控溅射技术被广泛应用于工业化生产,靶材的研究和开发受到了国内金属行业的极大重视。传统的金银等贵金属靶材性能难以满足溅射技术要求,且难回收、成本高。本研究介绍的耐蚀铜合金(试读)...

辽宁化工

2025年第01期