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等离子体加热单晶体生长炉外部换热器设计研究-辽宁化工2025年01期

等离子体加热单晶体生长炉外部换热器设计研究

作者:徐留茜 毕孝国 字体:      

摘      要:针对射频等离子体单晶体生长炉的射频等离子体反应器壁面温度高并且接通射频电源的导电线圈长期暴露于工作空间会存在的安全问题,设计研究出了新型螺旋缠绕管换热器。首先理论计算螺旋缠绕(试读)...

辽宁化工

2025年第01期