摘要： 参数振动广泛存在于多物理场耦合的微机电系统中。为研究静电驱动微镜系统中存在的参数共振非线性动力学问题，以一类静电梳齿驱动微镜为例，通过七次多项式拟合梳齿电容变化并建立微镜动力学模型，研究不同因素（试读）...
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